Mini Stocker- NTB (Near Tool Buffer)

AMHS 效率界限的來臨:
為了對應製程微縮而增加的製程道數原因,雖實施OHT高速化、FAB內裝設OHB/OHC 等設施,但對產品多樣化、小批量的生產線上仍然面臨FOUP搬送能力的瓶頸。

1.節省OHT遠端取料的時間
2.人力成本問題
3.免除FOUP購買費用與置放空間
4.縮短停擺時間

5.增加產能

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