EFEM(Equipment Front End Module)為半導體 Loader/Unloader ，可為不同晶圓尺寸提供設備前端上/下料之自動化模組。
超慧科技所研發設計的 EFEM 可以完全滿足客戶製程機台需求與限制，開發出適用於任何半導體製程設備之自動化需求。